一种整体式硅片翻转装置
基本信息
| 申请号 | CN201920643382.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210142642U | 公开（公告）日 | 2020-03-13 |
| 申请公布号 | CN210142642U | 申请公布日 | 2020-03-13 |
| 分类号 | H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 | 申请（专利权）人 | 罗博特科智能科技南通有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗博特科智能科技南通有限公司 |
| 地址 | 226000 江苏省南通市开发区中央路76号海关大楼223-17室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及硅片加工设备领域，具体涉及一种整体式硅片翻转装置。通过驱动部件带动旋转轴上的多组取送料单元同步转动，确保翻转时硅片不会产生旋转偏移，吸板以及辅助吸取部件吸住硅片后旋转180度，放下下面的硅片，上面吸板以及辅助吸取部件吸住来料的硅片，实现不间断旋转，一次性对吸板上吸取的多有硅片进行翻转，提高了设备生产的效率,自动化程度高，克服了现有人工手动翻转硅片效率低下、容易出现二次污染硅片、碎片率高的缺陷。 |
