一种硅片取放机构
基本信息
| 申请号 | CN202021379812.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213026074U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213026074U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;李学文 | 申请（专利权）人 | 罗博特科智能科技南通有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘相宇 |
| 地址 | 226000江苏省南通市开发区中央路76号海关大楼223-17室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及硅片搬运设备领域，涉及一种硅片取放机构。本实用新型通过取放抓手将硅片从花篮与石墨舟之间进行相互搬运，可同时对应处理2石墨舟，4花篮或8花篮上的硅片取放需求，极大的提高了硅片取放效率，通在双面移动轨道两侧设置两个取放组件，即4个取放部件两两背靠背设置在双面移动轨道上，每个取放部件进行独立工作，X轴驱动部件可快速响应产能需要以及取放部件在双面移动轨道上远距离搬运硅片需求。 |
