一种超高精度平面镜全口径中频面形测量装置及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种超高精度平面镜全口径中频面形测量装置及方法

基本信息

申请号	CN202110301016.6	申请日	-
公开（公告）号	CN113091637B	公开（公告）日	2022-06-28
申请公布号	CN113091637B	申请公布日	2022-06-28
分类号	G01B11/24（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	张帅;侯溪;胡小川;李佳慧	申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	-
地址	610209四川省成都市双流350信箱
法律状态	-

摘要

本发明提供一种超高精度平面镜全口径中频面形测量装置及方法，测量装置用于测量超高精度平面镜全口径中频面形，装置包括：白光干涉仪、显微物镜、轴向位移台、倾斜调整台、升降装置、两个标准镜及自准直仪以及计算机系统和大理石基座。白光干涉仪安装在大理石横梁上的升降装置上；轴向位移台以及倾斜调整台组成的测量平台安装在大理石基座上，通过两个垂直安装的自准直仪测角系统实时监测测量过程中待测超高精度平面镜的空间姿态；计算机系统与白光干涉仪相连，收集超高精度平面镜子孔径区域面形信息；通过调整平移台获得超高精度平面镜下一子孔径内面形信息，最后根据自准直仪检测数据结合拼接数据处理软件，获得超高精度平面镜全口径面形误差。