一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法

基本信息

申请号	CN202110318218.1	申请日	-
公开（公告）号	CN113091638B	公开（公告）日	2022-06-28
申请公布号	CN113091638B	申请公布日	2022-06-28
分类号	G01B11/24（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	刘锋伟;邓婷;陈强;吴永前;覃蝶;徐淑静	申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	-
地址	610209四川省成都市双流350信箱
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法，属于光学检测领域。该方法通过控制反射镜的位移及偏转，记录光斑偏离位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系来对系统的回程误差进行标定。具体通过五维电控微位移台控制反射镜发生微位移，使反射镜反射的光斑在视场范围内进行规律移动，记录不同光斑位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系，然后进行曲面拟合。当载物台放置待测反射镜时，通过找到光斑位置来依据拟合得到的曲面求解Zernike多项式的各项系数，组合各阶像差即可得到反射镜在该位置的回程误差。此方法针对在高精度测量时，回程误差不能调零的情况，具有结构简单、精度较高、实用性强的优点。