整体铸造型光刻机物镜冷却水套
基本信息
| 申请号 | CN202020207373.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212060866U | 公开（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申请公布号 | CN212060866U | 申请公布日 | 2020-12-01 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 马宏超 | 申请（专利权）人 | 苏州美迈快速制造技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤东凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及应用于光刻机物镜冷却领域，尤其涉及一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套。一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套，包括内套、不锈钢弯管以及砂模组件，其特征在于：所述内套套在砂模组件当中，所述不锈钢弯管盘在内套上，且所述不锈钢弯管通过电焊的的方式设置在内套外壁。本实用新型的有益之处：不锈钢盘管焊在一个不锈钢内套上，保证了盘管尺寸误差在±1mm左右，从而保证了铸件后期加工不会把不锈钢弯管加工穿漏。 |
