一种空气芯微同轴传输线的制造方法及生物传感器
基本信息
| 申请号 | CN202111453342.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114188691A | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN114188691A | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | H01P11/00（2006.01）I;H01P3/08（2006.01）I;H01P3/06（2006.01）I;G01N27/327（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 于新元;杨云春;裘进;陆原 | 申请（专利权）人 | 赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司 |
| 代理机构 | 北京众达德权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张桂蓉 |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街99号33幢D栋二层2208号（集中办公区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种空气芯微同轴传输线的制造方法及生物传感器，所述制造方法包括：在衬底上形成微同轴传输线的外轴底层；在所述外轴底层上形成支撑层；在所述外轴底层上形成所述微同轴传输线的第一部分外轴侧壁，所述第一部分外轴侧壁与所述支撑层等高；在所述支撑层上形成所述微同轴传输线的内轴；在所述第一部分外轴侧壁上形成第二部分外轴侧壁，得到所述微同轴传输线的外轴侧壁；在所述外轴侧壁上形成所述微同轴传输线的外轴顶层，得到所述微同轴传输线。采用该制造方法得到的空气芯微同轴传输线形成传感器探头，还可以大大降低探头的损耗，以提高传感器的检测灵敏度。 |
