一种晶圆运输机械手
基本信息
| 申请号 | CN202111277290.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114131621A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114131621A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | B25J11/00（2006.01）I;B25J15/06（2006.01）I;B65G47/91（2006.01）I;B65G49/07（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 陈文波;杨云春;郭鹏飞;陆原 | 申请（专利权）人 | 赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司 |
| 代理机构 | 北京众达德权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘天虹 |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街99号33幢D栋二层2208号（集中办公区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了晶圆运输机械手，主体；两个吸附臂，间隔设置在所述主体上，所述两个吸附臂上均间隔设置有两个以上真空孔；两个以上负压管路，各所述负压管路均与至少两个所述真空孔连通，以构成吸附系统；各所述吸附系统的最大真空孔间距不同。可以同时适用于两种以上尺寸晶圆的抓取搬运，提高了晶圆运输机械手的兼容性，能很大程度上提高晶圆的生产效率。吸附系统中的至少两个真空孔作为吸附支点，以通过至少两个吸附支点平稳抓取运输晶圆。且各所述吸附系统的最大真空孔间距不同，使得晶圆运输机械手可通过两个以上的吸附系统抓取搬运运输不同尺寸的晶圆，比如四寸、六寸、八寸和十二寸中的至少两种晶圆。 |
