基于纳米图形硅衬底制备高质量厚膜AlN的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

基于纳米图形硅衬底制备高质量厚膜AlN的方法

基本信息

申请号	CN201810801132.2	申请日	-
公开（公告）号	CN109103070B	公开（公告）日	2018-12-28
申请公布号	CN109103070B	申请公布日	2018-12-28
分类号	H01L21/02(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	杨学林;沈波;沈剑飞;张洁;冯玉霞;许福军;王新强;唐宁	申请（专利权）人	北京中博芯半导体科技有限公司
代理机构	北京万象新悦知识产权代理有限公司	代理人	李稚婷
地址	101300北京市顺义区中关村科技园区顺义园临空二路1号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种基于纳米图形硅衬底制备高质量厚膜AlN的方法，通过该方法获得的层状叠加AlN材料，从下向上依次为：纳米图形硅衬底、纳米图形AlN成核层、高温AlN横向生长层和高温AlN纵向生长层，在纳米图形硅衬底、纳米图形AlN成核层和高温AlN横向生长层中具有周期性排布的空气隙，所述空气隙在Si衬底中的深度为10nm～1μm，其横截面最大宽度为50nm～1μm，周期为100nm～2μm。与现有生长厚膜AlN的方法相比，本发明成本低廉，可被大规模产业化应用，大幅降低硅衬底上AlN的缺陷密度，提高后续器件结构材料的晶体质量，在垂直结构的UV‑LED器件、微机电系统、发光二极管、射频滤波器以及声表面波器件制造和高频宽带通信等领域有着广阔的应用前景。