一种金刚石生长的基片台结构
基本信息
| 申请号 | CN202120411661.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214361837U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214361837U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C30B29/04（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 余军火;王连忠;王斌;卢泽;杨成武 | 申请（专利权）人 | 廊坊西波尔钻石技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 侯巍巍 |
| 地址 | 065000河北省廊坊市大厂潮白河工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及单晶金刚石生长技术领域，尤其是涉及一种金刚石生长的基片台结构，其技术方案要点是：包括钼片，钼片上设置有多个活动插销，活动插销向钼片的一端面外侧延伸，多个活动插销将钼片划分成多个籽晶生长区域；活动插销与钼片滑动连接；达到了方便将金刚石从基片台上取下以提高基片台的重复利用性，进而降低单晶金刚石生长的成本的目的。 |
