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一种烘烤装置

基本信息

申请号 CN202023337252.3 申请日 -
公开（公告）号 CN215141732U 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN215141732U 申请公布日 2021-12-14
分类号 B05D3/02（2006.01）I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 白文;徐虎 申请（专利权）人 徐州芯思杰半导体技术有限公司
代理机构 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 代理人 艾青;牛悦涵
地址 221300江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号A-8号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种烘烤装置，属于芯片加工技术领域。本实用新型的烘烤装置包括烘烤腔室，所述烘烤腔室设置有开口，所述开口处设置有门体组件，所述门体组件上包括升降机构，所述升降机构包括第一驱动部件、第一丝杆以及滑杆，所述丝杆沿竖直方向延伸，且与所述门体组件螺纹连接，所述第一驱动部件与所述丝杆相连，所述滑杆沿竖直方向延伸，且与所述门体组件滑动连接。本实用新型的烘烤装置，通过升降机构带动门体实现自动升降，从而实现门体的自动开闭，节省了人力。