打磨夹具及打磨系统

基本信息

申请号 CN202123278533.0 申请日 -
公开(公告)号 CN216913381U 公开(公告)日 2022-07-08
申请公布号 CN216913381U 申请公布日 2022-07-08
分类号 B24B41/06(2012.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 白文;徐虎 申请(专利权)人 徐州芯思杰半导体技术有限公司
代理机构 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 221300江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号A-8号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本公开涉及一种打磨夹具及打磨系统,打磨夹具包括:夹持件,开设有通孔,电极穿设于所述通孔;压杆,可活动穿设于所述通孔,所述压杆用于抵压电极,以使电极处于夹持状态;在电极处于所述夹持状态时,电极的接触打磨面凸出所述夹持件的远离所述压杆的一侧的端面。本公开技术方案有效解决了传统电极打磨作业效率低的技术问题。