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一种封闭式半导体零部件清洗装置

基本信息

申请号 CN202021422227.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213495190U 公开（公告）日 2021-06-22
申请公布号 CN213495190U 申请公布日 2021-06-22
分类号 B08B3/02（2006.01）I;B08B7/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 陈如明;陈彩丽;卜庆磊 申请（专利权）人 英迪那米（徐州）半导体科技有限公司
代理机构 北京权智天下知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 徐小淇
地址 221600江苏省徐州市经济技术开发区庙山路1号2号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种封闭式半导体零部件清洗装置，包括工作箱体、导轨、丝杠及电机，工作箱体的顶端通过合页铰接设有箱盖，箱盖的内部设有喷枪，喷枪连通冷源，箱体的底面铺设有电热管；导轨及丝杠垂直设于箱体的内部，三根导轨分别固定设于箱体的三个转角处，导轨上滑动设有滑块，丝杠位于箱体剩余的转角处，丝杠上滑动设有滚珠滑台，三个滑块与滚珠滑台间通过横梁依次连接并构成矩形框体，矩形框体内铺设滤网；驱动电机位于工作箱体外，且带动丝杠旋转。本实用新型属于半导体清洗技术领域，与现有技术相比的优点在于：结构简单、骤冷骤热效果好。