一种单面板高精度开窗方法
基本信息
| 申请号 | CN201610713095.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106170183A | 公开（公告）日 | 2016-11-30 |
| 申请公布号 | CN106170183A | 申请公布日 | 2016-11-30 |
| 分类号 | H05K3/06(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 王健;孙彬 | 申请（专利权）人 | 山东蓝色电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 东营双桥专利代理有限责任公司 | 代理人 | 山东蓝色电子科技有限公司 |
| 地址 | 257091 山东省东营市经济开发区黄河路南、规划四路西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种单面板高精度开窗方法。其技术方案是包含以下步骤：1.?对双面铜箔基材干膜贴附；2.曝光显影、3.蚀刻；4退膜、5.激光开窗：使用UV?Yag?或CO2激光对大于开窗区域进行激光腐蚀,6.贴膜、7.蚀刻8.退膜9.等离子清洗：通过等离子清洗去除激光残留碳化层，得到最终的高精度开窗，该方法获得的开窗精度可达25um。本发明的有益效果是：本发明实现了将开窗精度提高的25um级别，其方法简单，实现容易，面对一些特殊要求的工艺，可以满足其要求，并且实现了工业化生产，提高了经济效益。 |
