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一种用于发光二极管生产的外延片清洗装置

基本信息

申请号 CN201720222393.X 申请日 -
公开（公告）号 CN206595229U 公开（公告）日 2017-10-27
申请公布号 CN206595229U 申请公布日 2017-10-27
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 金程缘;孙彬 申请（专利权）人 山东蓝色电子科技有限公司
代理机构 东营双桥专利代理有限责任公司 代理人 山东蓝色电子科技有限公司
地址 257091 山东省东营市经济开发区黄河路南、规划四路西
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于发光二极管生产的外延片清洗装置，包括装置本体和传动装置，所述装置本体的中部贯穿有传动装置，所述传动装置的履带表面设有若干防水吸盘，所述传动装置的上方设有喷头，所述喷头与液体管道的出水端联通，所述液体管道的入水端设于装置本体内腔的底部，所述液体管道从下向上依次设有增压泵、逆止阀和压力贮水罐，所述装置本体内壁下方设有滤网。通过设置滤网、液体管道和增压泵，实现了液体的循环清洗，减少了大量的生产成本，通过设置传动装置，使得外延片的清洗自动进行，节省大量的人力，通过设置逆止阀，防止停磊时压力水回流，通过设置压力贮水罐，减少增压泵的频繁启动。