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一种Plasma机器均匀性测试方法

基本信息

申请号 CN202011523718.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112781901A 公开（公告）日 2021-05-11
申请公布号 CN112781901A 申请公布日 2021-05-11
分类号 G01M99/00 分类 测量；测试;
发明人 徐慧娟 申请（专利权）人 东莞美维电路有限公司
代理机构 北京风雅颂专利代理有限公司 代理人 范小凤
地址 523125 广东省东莞市东城区外经工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 一种Plasma机器均匀性测试方法，其包括如下步骤：步骤一、准备若干测试片，将测试片烘烤后放进干燥皿里冷却至常温后称重并做标记；步骤二、将测试片分别放进覆铜治具板内；步骤三、将覆铜冶具板及若干覆铜假板以一定规律放入于Plasma机内；步骤四、Plasma测试；步骤五、Plasma做完后，将测试片自覆铜冶具板内拆下，然后将测试片进行烘烤，之后放进干燥皿里进行冷却至常温，再对测试片进行称重；步骤六、结果计算，九个区域的测试结果百分比均需≥70％才算合格。本发明对整个Plasma机的均匀性及生产产品时的稳定性，进行全方面的评估和监控，从而可确保Plasma机投入量产时性能稳定、产品质量稳定。