一种SE激光过程通氧装置
基本信息
| 申请号 | CN202122070825.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216054748U | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN216054748U | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张满满;乐雄英;张双玉 | 申请（专利权）人 | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 毛姗 |
| 地址 | 224005江苏省盐城市盐城市经济技术开发区湘江路58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于太阳能电池制备设备技术领域，尤其涉及一种SE激光过程通氧装置，包括喷淋机构、收集机构、气体过滤器和真空泵，所述喷淋机构包括喷淋板和进气管，所述收集机构包括收集板和排气管，所述喷淋板、硅片和收集板从上至下依次设置，所述硅片分别与喷淋板和收集板之间均具有间隙，所述喷淋板靠近硅片的一侧开设有喷气孔，所述收集板靠近硅片的一侧开设有集气孔，所述进气管与喷气孔连通，所述排气管与集气孔连通，所述气体过滤器的进气端与排气管连通，所述气体过滤器的出气端与真空泵的进气端连通。 |
