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一种太阳能电池硼硅玻璃钝化方法

基本信息

申请号	CN202110828340.3	申请日	-
公开（公告）号	CN113644161A	公开（公告）日	2021-11-12
申请公布号	CN113644161A	申请公布日	2021-11-12
分类号	H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	张双玉;张满满;乐雄英;陆祥	申请（专利权）人	江苏润阳悦达光伏科技有限公司
代理机构	常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙）	代理人	李静
地址	224005江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号
法律状态	-

摘要

本发明公开一种太阳能电池硼硅玻璃钝化方法，S1、对太阳能电池片进行表面处理，形成有效的绒面结构；S2、通过热扩散工艺，在形成绒面结构的所述太阳能电池片上生成一层厚度为80‑120nm的硼硅玻璃层；S3、使用低浓度的氢氟酸腐蚀掉部分所述的硼硅玻璃层，保留厚度为10‑25nm的硼硅玻璃层，即完成钝化。本发明的钝化方法保留了厚度为10‑25nm的硼硅玻璃介质层，这层介质层会有类似于氧化硅的钝化作用，能够很好地提高电池片的效率；常规N型电池在完全去除硼硅玻璃层后，通常采用热氧或湿氧方式，在正面生成一层氧化硅钝化层，本发明的钝化方法取消了这一步骤，直接用扩散形成的硼硅玻璃层进行钝化，在减少工艺步骤的同时，确保电池品的效率，也降低的电池制作成本。