缓蚀剂成膜性能的评价装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN201811064902.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109187700B | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN109187700B | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | G01N27/416（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 包振宇;段永锋;于凤昌;王宁;张宏飞;赵小燕;陈章淼 | 申请（专利权）人 | 中石化（洛阳）科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭新娟 |
| 地址 | 471000河南省洛阳市高新技术产业开发区三山科技工业园河洛大道6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种缓蚀剂成膜性能的评价装置和方法，其中，该评价装置包括釜式容器、三电极线性极化电阻探针、压力表、泄压阀和热电偶；该釜式容器用于盛放腐蚀性介质，压力表用于检测釜式容器内的压力值，在当釜式容器内的压力值超出预设值时，泄压阀将释放釜式容器内的压力，以使釜式容器内的压力值达到预设值；热电偶用于测量釜式容器内的温度，三电极线性极化电阻探针上形成缓蚀剂保护膜，以根据缓蚀剂保护膜从三电极线性极化电阻探针上脱落的速率评定缓蚀剂保护膜的持久性。本发明可以较为准确地评价缓蚀剂成膜的持久性，以及评价缓蚀剂成膜对缓蚀效果的影响。 |
