一种CMOS图像传感器及电子装置
基本信息
申请号 | CN202010944584.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114171541A | 公开(公告)日 | 2022-03-11 |
申请公布号 | CN114171541A | 申请公布日 | 2022-03-11 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 王强 | 申请(专利权)人 | 思特威(上海)电子科技股份有限公司 |
代理机构 | 上海波拓知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张媛 |
地址 | 200120上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祥科路111号3号楼6楼612室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明属于半导体器件技术领域,涉及一种CMOS图像传感器及电子装置,其中,CMOS图像传感器包括像素阵列区及围绕于像素阵列区边缘的金属层。金属层靠近像素阵列区边缘的内侧设有多个应力抵消槽。多个应力抵消槽用于消减在像素阵列区上进行上层工艺时产生的应力对所述像素阵列区的影响。因此,本发明提供的CMOS图像传感器中像素阵列区外围的金属层上设有多个应力抵消槽,该应力抵消槽内能够产生应力抵消效应,能够避免或改善进行上层工艺时产生的应力对像素阵列区的负面影响(例如避免或改善像素阵列区的微透镜层的边缘厚度不均的问题),进而,本发明提供的CMOS图像传感器为黑白CMOS图像传感器时,能够使得图像的亮度均一性得到改善。 |
