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一种炉体装卸机构

基本信息

申请号	CN201610960152.5	申请日	-
公开（公告）号	CN107052731B	公开（公告）日	2020-01-10
申请公布号	CN107052731B	申请公布日	2020-01-10
分类号	B23P19/00	分类	机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人	刘红丽;赵燕平;邱江虹;康飞	申请（专利权）人	北方华创科技集团股份有限公司
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	北京七星华创电子股份有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
地址	100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种炉体装卸机构，包括：主体，前传送支架调整结构，前传送支架，中间传送架，后传送支架，炉体固定支架，安装炉体时，将炉体装到后传送支架上，推动炉体至中间传送架，炉体固定支架固定炉体，推动主体至目标设备，前传送支架插入目标位置，炉体固定支架取消对炉体的固定，移动炉体至前传送支架，用锁紧螺栓将炉体顶起，前传送支架移出目标位置，炉体放下后位于目标位置；卸下炉体时，将主体移动到目标设备，用锁紧螺栓将炉体顶起，前传送支架插入位于目标位置上的炉体底部，移动炉体从前传送支架到中间传送架，炉体固定支架固定炉体，推动主体离开目标设备，炉体固定支架取消对炉体的固定，移动炉体至后传送支架，将炉体从后传送支架上取走。