微纳米气泡清洗晶圆的系统及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

微纳米气泡清洗晶圆的系统及方法

基本信息

申请号	CN201610444470.6	申请日	-
公开（公告）号	CN106098592B	公开（公告）日	2019-11-22
申请公布号	CN106098592B	申请公布日	2019-11-22
分类号	H01L21/67（2006.01）; H01L21/02（2006.01）	分类	基本电气元件;
发明人	刘效岩	申请（专利权）人	北方华创科技集团股份有限公司
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	北京七星华创电子股份有限公司
地址	100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种微纳米气泡清洗晶圆的系统及方法，包括：液体管道，气体管道，气液混合泵，超纯水管道，与超纯水管道相连接的超纯水喷头，曝气装置；超纯水经超纯水管道和超纯水喷头后喷射在晶圆上，在晶圆表面形成超纯水膜；清洗液体通过液体管道进入气液混合泵；用于产生微纳米气泡的气体通过气体管道进入气液混合泵；气液混合泵将从液体管道出来的清洗液体和从气体管道出来的气体充分混合，且使该气体充分溶解于清洗液体中；曝气装置与气体混合泵相连通，充分混合的所述清洗液体和所述气体从气液混合泵出来后，经曝气装置释放后形成微纳米气泡喷射在晶圆表面的超纯水膜上，从而实现在不损伤晶圆表面图案的同时提高对晶圆表面颗粒的去除效果。