反应腔室的压力控制系统及压力控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201610962237.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107068587B | 公开（公告）日 | 2019-10-25 |
| 申请公布号 | CN107068587B | 申请公布日 | 2019-10-25 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 董金卫 | 申请（专利权）人 | 北方华创科技集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种反应腔室的压力控制系统及压力控制方法，该系统包括：与反应腔室相连通的第一进气管路、第一流量计和第一阀门；与反应腔室相连通的第一排气管路，压力控制阀，尾气排放管路和第一大气连通管路，第二阀门；与微环境腔室相连通的第二进气管路和第二排气管路，第二流量计，第三阀门；与微环境腔室相连通的第二大气连通管路，压力差测量计；将第一大气连通管路和第二大气连通管路相连通的连接管路和第四阀门。通过流量计来控制相应进气管路的气体流量、控制相应的排气管路的启闭以及通过压力差测量计来控制微环境腔室与大气压力的压差，来实现对反应腔室的压力控制。 |
