一种太阳能电池的双面扩散方法
基本信息
| 申请号 | CN201410376746.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104143589B | 公开（公告）日 | 2020-02-14 |
| 申请公布号 | CN104143589B | 申请公布日 | 2020-02-14 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L21/223 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张勤杰;傅建奇;李秀青;杜飞龙;姚雁林 | 申请（专利权）人 | 北方华创科技集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 北京七星华创电子股份有限公司;北京飞行博达电子有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 地址 | 101204 北京市平谷区马坊工业西区316号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的一种太阳能电池的双面扩散方法，包括：将两个晶圆的背面相对贴合放置在晶舟中；对两个晶圆的正面进行第一掺杂元素扩散，在晶圆正面形成第一扩散层，同时在晶圆背面和边缘形成第一杂质层；去除第一杂质层；将两个晶圆的正面相对贴合放置在晶舟中；对两个晶圆的背面进行第二掺杂元素扩散，在晶圆背面形成第二扩散层，同时在晶圆正面和边缘形成第二杂质层；去除第二杂质层。本发明的双面扩散方法，不仅与现有工艺设备相兼容，有利于实现工业化大规模生产；并且，相比于现有的工艺，无需另外增加晶圆边缘刻蚀的步骤，简化了制备工艺，进一步降低了生产成本。 |
