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半导体清洗设备工作状态的监测系统及检测方法

基本信息

申请号 CN201610978418.9 申请日 -
公开（公告）号 CN106328569B 公开（公告）日 2021-04-09
申请公布号 CN106328569B 申请公布日 2021-04-09
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 郭训容 申请（专利权）人 北方华创科技集团股份有限公司
代理机构 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龙;陈慧弘
地址 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种半导体清洗设备工作状态的监测系统，包括灯塔和灯塔控制单元。灯塔具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合。灯塔控制单元与清洗设备的机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及所述灯塔相连。灯塔控制单元通过配置文件配置每一单元的不同状态及各单元不同状态的组合与灯塔的输出之间的对应关系；并发送指令至各单元、根据各单元对指令的执行状态反馈信息发送信号至灯塔使其输出相应的颜色和/或声音。本发明使得设备操作者能够及时发现清洗设备出现问题并迅速做出响应。