一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201610921716.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106507514B | 公开（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申请公布号 | CN106507514B | 申请公布日 | 2020-07-17 |
| 分类号 | H05B3/02;H05B1/02 | 分类 | - |
| 发明人 | 穆晓航;钟结实;王凯;杨帅 | 申请（专利权）人 | 北方华创科技集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 北京七星华创电子股份有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法，通过在工艺管排气管路安装加热装置，可根据工艺菜单中不同步骤的加热温度需求，以设定的温度控制目标值对排气管路的管壁进行加热及温度控制，避免了工艺排气时的尾气在排气管路的管壁上沉积并形成颗粒，从而保证了工艺管排气管路的通畅。 |
