OPC检测方法、计算机设备及计算机可读存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202110691403.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113376954B | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN113376954B | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G03F1/36（2012.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 夏国帅 | 申请（专利权）人 | 上海积塔半导体有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 卢炳琼 |
| 地址 | 200120上海市浦东新区云水路600号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种OPC检测方法、计算机设备及计算机可读存储介质，其中，通过对第二目标图形进行圆化处理后，得到的圆化图形更加接近实际硅片的图形，可以减少由于与实际硅片图形间的差异所引起的误报错；通过第一仿真图形与第二圆化图形之间的逻辑否运算后，进行围住率检测，可进一步的减少围住率检查的误报错，从而得到更为准确的OPC检测的结果图形。 |
