一种精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110672322.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113373406A | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN113373406A | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23F1/02（2006.01）I;B23K26/362（2014.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 胡清渊;沈洵;张容韶 | 申请（专利权）人 | 浙江众凌科技有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永航联科专利代理有限公司 | 代理人 | 蔡鼎 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号1幢351室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方法，包括金属基材的一侧面为第一主表面，另一侧面为第二主表面，金属基材上开通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上设置蚀刻孔，暴露孔位于第二主表面上设置激光孔，中心相重合的蚀刻孔与激光孔呈连通状态，蚀刻孔的外口大、内口小，外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，外口与内口连线的倾斜夹角为蒸镀角，激光孔具有垂直孔壁，激光孔具有高精度孔径。制作方法包括：在金属基材的第一主表面和第二主表面上完整涂覆固态光刻胶层；在第一主表面上进行单面的曝光显影制程，制作出第一镂空区；在第一镂空区上进行单面蚀刻制程以蚀刻出凹陷区；在凹陷区内进行激光制程以轰击刻制出贯穿孔洞。 |
