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用于湿制程的全覆盖双室喷药设备

基本信息

申请号 CN202121252938.4 申请日 -
公开（公告）号 CN215465585U 公开（公告）日 2022-01-11
申请公布号 CN215465585U 申请公布日 2022-01-11
分类号 B05B16/40（2018.01）I;B05B13/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 张容韶;沈洵;胡清渊 申请（专利权）人 浙江众凌科技有限公司
代理机构 浙江永航联科专利代理有限公司 代理人 蔡鼎
地址 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号1幢351室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种用于湿制程的全覆盖双室喷药设备，包括相衔接的第一喷药室和第二喷药室，第一喷药室和第二喷药室的中部均开设相连通的工件输送通道，第一喷药室和第二喷药室的上部设置用于朝下喷药的喷洒机构，下部设置用于朝上喷药的喷洒机构，喷洒机构包括呈竖直的进药管和呈水平的喷药管，进药管与喷药管之间通过缓冲盒相连通，喷药管上通过若干短直管一一连通若干单喷嘴，喷药管上通过分叉管连通双喷嘴，分叉管包括相连通的长直管和横支管，长直管的末端连接双喷嘴中的其一喷嘴，横支管的末端连接双喷嘴中的另一喷嘴，单喷嘴设置于喷药管的中部位置上，双喷嘴设置于喷药管的端部位置上，并使横支管末端的喷嘴朝外侧延伸。