用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110642496.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113265617A | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN113265617A | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | C23C14/04;C23C14/24;C23F1/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张容韶;沈洵;胡清渊 | 申请（专利权）人 | 浙江众凌科技有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永航联科专利代理有限公司 | 代理人 | 蔡鼎 |
| 地址 | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号1幢351室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法，包括金属基材，金属基材的一侧面为第一主表面，另一侧面为第二主表面，金属基材上开通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上设置第一蚀刻孔，暴露孔位于第二主表面上设置第二蚀刻孔，中心相重合的第一蚀刻孔与第二蚀刻孔呈连通状态，第一蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第二蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处形成交界夹角，交界夹角大于90°，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处为暴露孔的高精度孔径。本发明优化两侧蚀刻孔相交结构，尖点结构更平缓、更厚实，增加强度，提高精度。 |
