一种提升强度的OLED蒸镀制程用的金属遮罩
基本信息
| 申请号 | CN202121254274.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214830617U | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN214830617U | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I;C23C14/12（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张容韶;沈洵 | 申请（专利权）人 | 浙江众凌科技有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永航联科专利代理有限公司 | 代理人 | 蔡鼎 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号1幢351室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种提升强度的OLED蒸镀制程用的金属遮罩，包括金属罩体，金属罩体内设置有效开孔区域，有效开孔区域的外周为无效区域，有效开孔区域与无效区域之间为过渡开孔区域，有效开孔区域中均匀开通若干正常孔，过渡开孔区域内均匀开通若干过渡孔，过渡孔的孔径小于正常孔的孔径，若干过渡孔沿有效开孔区域的周边布设。本实用新型利用过渡开孔区域中缩小的孔洞，渐进式衔接强度变化，以避免强度徒然落差导致易折伤。单排与双排的渐进式结构设计选用主要在于匹配不同的孔洞开口设计的密度。如此阶梯式的强度变化，能有效地改善有效开孔区域与无效区域交界处因结构强度的落差所导致的折伤不良问题。 |
