静电驱动微机电系统二维扫描微镜
基本信息
| 申请号 | CN201420640709.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204116713U | 公开（公告）日 | 2015-01-21 |
| 申请公布号 | CN204116713U | 申请公布日 | 2015-01-21 |
| 分类号 | G02B26/10(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 陈春明;胡放荣;张隆辉;彭晖 | 申请（专利权）人 | 桂林光隆科技集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 桂林市光隆光电科技有限公司;桂林光隆光电科技股份有限公司 |
| 地址 | 541004 广西壮族自治区桂林市高新区朝阳路国家信息产业园D-08光隆科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种静电驱动微机电系统二维扫描微镜，其主要由位于最底层的低阻硅基底，位于中间层的固定梳齿和梳齿引线，位于最上层的可动梳齿、二维扫描微镜片组和支撑梁组，以及同时处于中间层和最高层的锚位所组成；通过在X轴方向引入4根L形支撑梁来作为X轴方向的镜面旋转轴，使得内部固定梳齿的引线恰好从相邻两根L形支撑梁空隙中央通过，这样的设计既能够简化了器件结构和加工工艺、降低了成本，还使得微镜片的引线更为方便，以便于组成大规模微镜片阵列，对拓展静电驱动微机电系统二维扫描微镜的应用领域具有十分重要的意义。 |
