一种晶硅表面电池的碱抛光方法

基本信息

申请号 CN202111494449.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113903832B 公开(公告)日 2022-02-25
申请公布号 CN113903832B 申请公布日 2022-02-25
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;C09K13/00(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李一鸣;赵晶;张震华 申请(专利权)人 绍兴拓邦电子科技有限公司
代理机构 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 徐锋
地址 312000 浙江省绍兴市越城区斗门街道三江东路22号8幢车间13-1
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶硅表面电池的碱抛光方法,属于晶硅处理技术领域,具体涉及将多晶硅片进行清洗处理得到处理后的多晶硅片,多晶硅片上无二氧化硅氧化层;将处理后的多晶硅片于抛光液中处理得到了抛光后的多晶硅片;抛光液中含有四甲基氢氧化铵、异丙醇和三嗪衍生物,三嗪衍生物为三聚氯氰上的氯被至少一个L‑半胱氨酸取代的取代物的混合物。经本发明碱抛光液抛光后的多晶硅片的抛光面的反射率提高,反射率提高了6‑15%;包覆氧化铝钝化膜的电池片的少子寿命提高,少子寿命提高了30‑60%;包覆氧化铝钝化膜的电池片的转换效率,转换效率提高了0.1‑0.7%。