一种晶硅表面电池的碱抛光方法
基本信息
申请号 | CN202111494449.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113903832B | 公开(公告)日 | 2022-02-25 |
申请公布号 | CN113903832B | 申请公布日 | 2022-02-25 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;C09K13/00(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 李一鸣;赵晶;张震华 | 申请(专利权)人 | 绍兴拓邦电子科技有限公司 |
代理机构 | 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 徐锋 |
地址 | 312000 浙江省绍兴市越城区斗门街道三江东路22号8幢车间13-1 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种晶硅表面电池的碱抛光方法,属于晶硅处理技术领域,具体涉及将多晶硅片进行清洗处理得到处理后的多晶硅片,多晶硅片上无二氧化硅氧化层;将处理后的多晶硅片于抛光液中处理得到了抛光后的多晶硅片;抛光液中含有四甲基氢氧化铵、异丙醇和三嗪衍生物,三嗪衍生物为三聚氯氰上的氯被至少一个L‑半胱氨酸取代的取代物的混合物。经本发明碱抛光液抛光后的多晶硅片的抛光面的反射率提高,反射率提高了6‑15%;包覆氧化铝钝化膜的电池片的少子寿命提高,少子寿命提高了30‑60%;包覆氧化铝钝化膜的电池片的转换效率,转换效率提高了0.1‑0.7%。 |
