靶材组件及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110962008.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113529030A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113529030A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | C23C14/34;B23K20/12 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 山田浩;林智行;广田二郎;中村晃;大岩一彦;姚科科 | 申请（专利权）人 | 浙江最成半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 罗建民;张萍 |
| 地址 | 312035 浙江省绍兴市越城区银桥路326号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种靶材组件及其制作方法，该靶材组件包括：靶材和背板，背板设置于靶材的外围，靶材的溅射面相对于背板的前端表面凸出。本发明中的靶材组件及其制作方法，通过将背板设置于靶材的外围，由于背板没有在靶材的背面进行占位，溅射范围的厚度全部由靶材构成，所以间接使得靶材自身可以设置更厚的厚度，延长了靶材自身的使用寿命，因此与以往产品相比，能够将综合功率延长至寿命末期，实现靶材组件的长寿命化。 |
