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一种靶材和背板的扩散接合装置

基本信息

申请号	CN202023288854.4	申请日	-
公开（公告）号	CN214185710U	公开（公告）日	2021-09-14
申请公布号	CN214185710U	申请公布日	2021-09-14
分类号	B23K20/02（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I	分类	机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人	大岩一彦;姚科科;广田二郎;中村晃;林智行;山田浩	申请（专利权）人	浙江最成半导体科技有限公司
代理机构	宁波高新区永创智诚专利代理事务所（普通合伙）	代理人	付帅
地址	312035浙江省绍兴市越城区皋埠街道人民东路1433号百酷时尚产业园内2幢317室
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种靶材和背板的扩散接合装置，涉及半导体技术领域，包括：排气容器、设置在排气容器内的金属包套、液压装置、以及进气装置和排气装置；金属包套内由下至上依次设有背板、靶材和压块，液压装置的压力作用于压块上使得背板与靶材结合；进气装置和排气装置可用于排气容器的抽真空或在排气容器内充入惰性气体或充入氢气；本实用新型通过将金属包套置于真空或惰性气体或氢气中的设置，来防止由于氧化引起的背板与靶材接合率降低的问题，并且通过实现重复使用能够起到降低成本的效果，实现多品种批量生产；对排气容器的抽真空或在排气容器内充入惰性气体或充入氢气，可使得接合率达99％以上；同时结合的背板与靶材具有金属光泽，外观上没有出现氧化的情况。