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一种多晶硅的制备方法

基本信息

申请号	CN201310044962.2	申请日	-
公开（公告）号	CN103101912B	公开（公告）日	2014-07-09
申请公布号	CN103101912B	申请公布日	2014-07-09
分类号	C01B33/037(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	李伟生;龚炳生;王晓艳	申请（专利权）人	福建兴朝阳硅材料股份有限公司
代理机构	北京元中知识产权代理有限责任公司	代理人	福建兴朝阳硅材料股份有限公司
地址	364211 福建省龙岩市上杭县南阳工业区
法律状态	-

摘要

一种多晶硅的制备方法，包括如下步骤：硅液在抬包中吹气、NaCl、KCl与SiO₂造渣剂、等离子体相结合精炼除硼杂质，其中，氧化性气体电离成等离子气体从抬包底部通入硅液中，持续通入等离子气体1～3h,在抬包内进行反应；反应完成之后经过处理得到低磷硼金属硅；将硅锭破碎、磨粉、酸洗，清洗，烘干；将酸洗后硅粉加热熔化成硅液，保温；石墨板放置于硅液的表面上，石墨板与石墨坩埚底部分别与外界直流电压的负、正极接，所施加的直流电压为10～100V；通电2～4h后，在通电状态下，石墨坩埚以0.10～0.15mm/min的速率下降，离开加热区，进行定向凝固，冷却后取出硅锭，切除上层杂质富集区，得到提纯后6N多晶硅。该方法去除硼、金属等杂质效果好、成本低、环保。