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一种快速测量多晶硅中微量硼杂质的方法

基本信息

申请号 CN201410014232.2 申请日 -
公开（公告）号 CN103760218B 公开（公告）日 2015-10-28
申请公布号 CN103760218B 申请公布日 2015-10-28
分类号 G01N27/62(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 王晓艳;杨凤炳;李伟生;龚炳生 申请（专利权）人 福建兴朝阳硅材料股份有限公司
代理机构 北京元中知识产权代理有限责任公司 代理人 福建兴朝阳硅材料股份有限公司
地址 364211 福建省龙岩市上杭县南阳镇射山村富坑湖洋塘背路1-2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种快速测量多晶硅中微量硼杂质的方法。包括：称取多晶硅样品试样；向试样中加入甘露醇溶液；再向试样中加入碳酸钾溶液；然后加入氢氟酸，再缓慢滴入硝酸进行酸化溶解；待试样溶解后，加热至白烟冒尽，停止加热；向试样中加入盐酸浸泡，再用少量的纯水稀释，冷却；待冷却后，向溶液中加入甲醇，摇匀，定容；定容后，用氨水和纯水分别冲洗ICP-MS；待ICP-MS冲洗完成，将定容后的溶液试样采用ICP-MS检测，即可精确测量出样品的硼含量。本方法工艺简单，成本低，测量精确、能快速测量多晶硅中硼的含量。