一种炉式PECVD防水奈米涂布装置
基本信息
| 申请号 | CN201821542846.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208791751U | 公开（公告）日 | 2019-04-26 |
| 申请公布号 | CN208791751U | 申请公布日 | 2019-04-26 |
| 分类号 | C23C16/513（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨福年; 郑锡文 | 申请（专利权）人 | 深圳和力纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市智圈知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 东莞市和域战士纳米科技有限公司 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市塘厦镇宏业北路99A16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种炉式PECVD防水奈米涂布装置，包括炉体，所述炉体内腔壁一侧固定设置有滑槽，所述滑槽表面可拆卸连接有支架，所述支架表面中间固定连接有一号放卷辊，所述一号放卷辊两侧均固定焊接有二号放卷辊。本实用新型等离子发射器在低气压下，使空气经一系列化学反应和等离子体反应，最终在涂布表面形成固态薄膜，从而可有效增强涂布的防水效果，等离子发射器工作时产生的废气通过真空泵抽进空气净化器中进行净化，可有效减少有毒气体的排放，且通过加热器对防水膜进行加热，其中加热器通过温度控制器进行控制，使加热器保持在恒定温度进行加热，加热后通过碾压辊对防水膜进行碾压，从而使防水膜被粘附在涂布表面。 |
