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一种复合衬底的热膨胀系数测试方法

基本信息

申请号 CN202110467371.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113176291A 公开（公告）日 2021-07-27
申请公布号 CN113176291A 申请公布日 2021-07-27
分类号 G01N25/16（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 欧欣;李忠旭;黄凯 申请（专利权）人 上海新硅聚合半导体有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 郝传鑫;贾允
地址 201800上海市嘉定区汇源路55号8幢3层J
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种复合衬底的热膨胀系数测试方法，所述方法包括以下步骤：在复合衬底处于第一温度时，获取复合衬底的第一曲率；加热复合衬底，使得复合衬底以预设升温速度升温，直至复合衬底的温度达到第二温度，获取复合衬底的第二曲率；冷却复合衬底，使得复合衬底以预设降温速度降温，直至复合衬底的温度达到第一温度；在第一温度至第二温度之间选取至少一个目标温度，获取复合衬底的目标曲率；根据复合衬底的第一曲率、至少一个目标曲率和第二曲率，计算得到复合衬底的曲率变化率；根据衬底和薄膜的特性参数和曲率变化率，获得复合衬底的热应力；根据衬底和薄膜的特性参数和复合衬底的热应力，计算得到复合衬底的热膨胀系数。