一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备及镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN202210185652.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114525491A | 公开（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申请公布号 | CN114525491A | 申请公布日 | 2022-05-24 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱刚毅;朱刚劲 | 申请（专利权）人 | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 代理机构 | 东莞高瑞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 526000广东省肇庆市端州区端州一路南宾日大楼侧第一卡厂房之二 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备，包括真空容器，真空容器内设有收放卷室和镀膜室，收放卷室设隔膜阀，收放卷室内各设放卷系统和收卷系统，放卷系统输出基材进入镀膜室中，基材镀膜后复卷至收卷系统上。一种镀膜方法，包括：放卷系统输出基材缠绕镀膜辊一、磁控靶一对镀膜辊一上的基材的第一面进行镀膜；基材通过走膜通道缠绕在镀膜辊二、磁控靶二对镀膜辊二上的基材的第二面进行镀膜，基材镀膜后收卷在收卷系统上；在放卷和收卷更换卷材时，隔膜阀一和隔膜阀二关闭，保持镀膜室一和镀膜室二的真空度。本发明在收放卷材时，关闭隔膜阀，保持镀膜室的真空度不变，镀膜室和收放卷室相互独立，加快抽真空时间，提高生产效率。 |
