一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备及镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN202210185654.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114525492A | 公开（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申请公布号 | CN114525492A | 申请公布日 | 2022-05-24 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/58（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱刚劲;朱刚毅 | 申请（专利权）人 | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 代理机构 | 东莞高瑞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 526000广东省肇庆市端州区端州一路南宾日大楼侧第一卡厂房之二 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备，包括真空容器和放卷系统、镀膜辊及收卷系统，基材经过镀膜辊后复卷到收卷系统，镀膜辊的外圆周侧部设磁控靶，保护膜从放卷系统上输出后与基材分离，在镀膜辊的输出端设有覆膜卷，保护膜覆在基材表面复卷至收卷系统。一种镀膜方法，包括：通过真空抽气系统和真空测量系统使真空容器内部满足真空条件；放卷系统传送带保护膜的基材缠绕在镀膜辊前，先将保护膜撕除卷绕在撕膜卷上；镀膜辊外圆周处设磁控靶对镀膜辊表面的基材进行镀膜；基材表面贴覆保护膜后复卷在收卷系统上。本发明可对带保护膜的薄膜基材进行撕膜镀膜，镀膜完后再贴覆保护膜进行收卷，实现单面镀膜和双面镀膜的功能。 |
