一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202121418453.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215050645U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215050645U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人 | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晨 |
| 地址 | 526000广东省肇庆市三榕工业开发区泰隆包装机械有限公司厂房西8卡之二 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷辊、第一镀膜机构、第二镀膜机构、收卷辊；第一镀膜机构用于对基材的一面进行镀膜，第一镀膜机构包括第一镀膜辊和第一镀膜区，第一镀膜区内设有第一蒸发源；第二镀膜机构用于对基材的另一面进行镀膜，第二镀膜机构包括第二镀膜辊和第二镀膜区，第二镀膜区内设有第二蒸发源；真空室上还安装有第一电子枪和第二电子枪，第一电子枪发射的电子束朝向第一蒸发源，第二电子枪发射的电子束朝向第二蒸发源。本实用新型可连续进行双面蒸发镀膜，并且大功率电子束蒸发镀膜的能量大，膜层沉积效率高，能够实现大幅宽基材的大批量均匀成膜。 |
