一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备
基本信息
| 申请号 | CN202220418232.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216891172U | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN216891172U | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱刚毅;朱刚劲 | 申请（专利权）人 | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 代理机构 | 东莞高瑞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 526000广东省肇庆市端州区端州一路南宾日大楼侧第一卡厂房之二 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备，包括真空容器，真空容器内部形成有放卷室、蒸发镀膜室一、蒸发镀膜室二和收卷室，放卷室输出薄膜基材经过蒸发镀膜室一和蒸发镀膜室二后进入收卷室中复卷，蒸发镀膜室一设有镀膜辊一和电子束蒸发镀膜器一，蒸发镀膜室二设有镀膜辊二和电子束蒸发镀膜器二，薄膜基材绕过镀膜辊一和镀膜辊二使其正反两面分别与电子束蒸发镀膜器一和电子束蒸发镀膜器二对应。本实用新型提供一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备，采用电子束加热膜材，加热功率大，热能量集中且能量大，能蒸发各种难熔金属及非金属材料，采用双镀膜辊双电子束加热蒸发镀膜实现薄膜基材的连续双面镀膜。 |
