一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口

基本信息

申请号 CN201721594867.X 申请日 -
公开(公告)号 CN207474414U 公开(公告)日 2018-06-08
申请公布号 CN207474414U 申请公布日 2018-06-08
分类号 H01J49/26;H01J49/02;G01N27/62 分类 基本电气元件;
发明人 孙克强;丁志国;陈万锁;江波;山拓 申请(专利权)人 江苏衡昇仪器有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 225300 江苏省泰州市高港区刁铺街道环溪路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口,包括点火腔体,所述点火腔体内腔的后侧固定连接有第一密封圈和第二密封圈,所述点火腔体内腔的底部分别固定连接有滑轨平台和气缸,所述点火腔体内腔后侧的顶部设置有低真空腔体,所述点火腔体的内腔设置有水冷盘。本实用新型通过设置点火腔体、第一密封圈、第二密封圈、滑轨平台、气缸、水冷盘和低真空腔体的配合使用,解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口密封效果差,不能快速实现正常气压与低真空的转换,不便于安装维护的问题,该电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口,具备密封效果好,可快速实现正常气压与低真空的转换,便于安装维护的优点。