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一种AlTiN梯度硬质涂层及其制备方法

基本信息

申请号	CN202010713473.1	申请日	-
公开（公告）号	CN111826611A	公开（公告）日	2020-10-27
申请公布号	CN111826611A	申请公布日	2020-10-27
分类号	C23C14/14(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	兰睿;卢国英;石昌仑	申请（专利权）人	常州夸克涂层科技有限公司
代理机构	大连理工大学专利中心	代理人	梅洪玉
地址	213000江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城大连理工大学常州研究院科技产业大厦B座218—219
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种AlTiN梯度硬质涂层，包括基体，基体的顶部附着有Cr打底层，Cr打底层的顶部附着有CrN过渡层，CrN过渡层的顶部附着有CrN+AlTiN过渡层，CrN+AlTiN过渡层的顶部附着有AlTiN梯度层。本发明还提供了一种AlTiN梯度硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：首先在基体上表面采用电弧离子镀沉积Cr打底层；然后在Cr打底层上沉积CrN过渡层，继而在CrN过渡层上沉积CrN+AlTiN过渡层，最后在CrN+AlTiN过渡层上通过改变四个梯度的偏压沉积AlTiN梯度层。本发明的AlTiN涂层具有高的硬度和良好的膜基结合力。因此采用梯度AlTiN涂层，既可以维持AlTiN涂层自身的优点，又提高了膜基结合力。