一种真空涂层设备用模块化加热装置
基本信息
| 申请号 | CN202021225828.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212519461U | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN212519461U | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | H05B3/40(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 卢国英;石昌仑;兰睿 | 申请（专利权）人 | 常州夸克涂层科技有限公司 |
| 代理机构 | 大连理工大学专利中心 | 代理人 | 梅洪玉 |
| 地址 | 213000江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城大连理工大学常州研究院科技产业大厦B座218-219 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空涂层设备用模块化加热装置，包括真空室和若干位于真空室上的加热装置，每个加热装置均包括加热器、加热器挡板、螺母挡板、保护套、航空插头、拧紧螺丝，加热器位于真空室内部，加热器与真空室内部相接触处设有加热器挡板，真空室的室壁上开设有穿孔，保护套设有外螺纹的一端部分穿过穿孔与加热器挡板固定连接、位于真空室外的部分螺纹连接有螺母挡板，螺母挡板上开设有若干第一螺纹孔，第一螺纹孔内均螺纹连接有拧紧螺丝，拧紧螺丝与真空室外侧壁相抵；保护套连接有航空插头，航空插头与加热器相连接。本实用新型具有方便拆卸加热器、加热器接线更加安全、加热器可以设为统一大小方便多台真空设备互换的优点。 |
