一种TiAlSiN梯度硬质涂层及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010713478.4 申请日 -
公开(公告)号 CN111690901A 公开(公告)日 2020-09-22
申请公布号 CN111690901A 申请公布日 2020-09-22
分类号 C23C14/32(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 兰睿;卢国英;石昌仑 申请(专利权)人 常州夸克涂层科技有限公司
代理机构 大连理工大学专利中心 代理人 梅洪玉
地址 213000江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城大连理工大学常州研究院科技产业大厦B座218—219
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种TiAlSiN梯度硬质涂层,包括基体,基体的顶部附着有Cr打底层,Cr打底层的顶部附着有成分梯度变化TiAlSiN层,TiAlSiN梯度层的顶部附着有TiSiN层,TiAlSiN梯度层中各元素的原子百分比含量变化范围为,Ti:25‑45at%,Al:10‑25at%,Si:2‑8at%,根据沉积偏压不同,成分依次变化。本发明,具有增加TiAlSiN涂层与基体的结合力、增强刀具的使用寿命的优点。