一种真空涂层设备用真空室的冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202020632619.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214088638U | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN214088638U | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | C23C14/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 卢国英;石昌仑;兰睿 | 申请（专利权）人 | 常州夸克涂层科技有限公司 |
| 代理机构 | 大连理工大学专利中心 | 代理人 | 梅洪玉 |
| 地址 | 213000江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城大连理工大学常州研究院科技产业大厦B座218—219 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，包括真空室、循环泵、换热装置、冷却装置、与真空室相连通的惰性气体瓶；真空室的上端和下端均开设有一个标准法兰口，两个标准法兰口上均焊接有密封法兰，真空室与循环泵通过第一管道和第二管道相连通，第一管道的出口端与循环泵的进口端相连通，第一管道的进口端与真空室上的其中一个密封法兰固定连接，第二管道的出口端与真空室上的另外一个密封法兰固定连接，第二管道的进口端与循环泵的出口端相连通；换热装置固定设于第一管道上，冷却装置与换热装置相互连通，换热装置外部设有箱体，换热装置固定设于箱体内，第一管道与箱体相互连通。本实用新型具有节能环保、提高生产效率的优点。 |
