一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置
基本信息
| 申请号 | CN202020983453.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213142167U | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN213142167U | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 卢国英;石昌仑;兰睿 | 申请（专利权）人 | 常州夸克涂层科技有限公司 |
| 代理机构 | 大连理工大学专利中心 | 代理人 | 梅洪玉 |
| 地址 | 213000江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城大连理工大学常州研究院科技产业大厦B座218—219 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置，真空室的侧壁开设有若干第一穿孔，每个蒸发源的靶材过盈配合插接于真空室中，每个靶材面向真空室外侧的一端均固定设有密封板，每个密封板位于靶材面向真空室外部一侧，每个密封板均与真空室外侧壁相互贴合，每个永磁铁固定仓均为圆筒状且一端设有开口，每个永磁铁固定仓内均永磁铁，每个永磁铁固定仓远离真空室的一端圆心处均开设有螺纹穿孔，每个螺纹穿孔中螺纹均连接有丝杆，每个丝杆的一端分别与永磁铁固定连接、另一端位于永磁铁固定仓外侧且固定连接有梅花手轮。本实用新型具有保持永磁铁在靶材表面磁场强度稳定、使靶材充分燃烧、增加靶材的利用率、减少靶材跑弧风险的优点。 |
