一种真空涂层设备用弧电源的切换装置
基本信息
| 申请号 | CN202020632617.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212505040U | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN212505040U | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 卢国英;石昌仑;兰睿 | 申请（专利权）人 | 常州夸克涂层科技有限公司 |
| 代理机构 | 大连理工大学专利中心 | 代理人 | 梅洪玉 |
| 地址 | 213000江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城大连理工大学常州研究院科技产业大厦B座218—219 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空涂层设备用弧电源的切换装置，真空涂层设备中设有真空室，三行蒸发源固定设于真空室内，每行蒸发源组分别包含4台蒸发源,共形成四列蒸发源组,弧电源的正极与真空室电性连接，两列蒸发源组中的每一行蒸发源组分别电性连接有一台弧电源的负极,剩余两列蒸发源组中的每台蒸发源分别电性连接有与之一一对应的弧电源的负极，形成并联支路，弧电源、蒸发源与真空室形成回路，每个弧电源与其所对应的蒸发源的并联支路上均设有接触器，若干接触器的信号输入端分别电性连接有继电器，若干继电器的信号输入端均电性连接至控制装置的信号输出端。本实用新型具有节约成本、减少真空涂层设备体积和重量的优点。 |
