一种超声波单晶硅片清洗槽
基本信息
| 申请号 | CN201921873971.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210995606U | 公开（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申请公布号 | CN210995606U | 申请公布日 | 2020-07-14 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 朱汪龙;朱玲 | 申请（专利权）人 | 无锡乐东微电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 石艳红 |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区景贤路52号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种超声波单晶硅片清洗槽，包括丝杆、螺母块、电机、电动伸缩杆、超声波振子、升降板、连接管、真空吸盘以及真空泵，支撑板左端面上侧装配有电机，电机右端面安装有丝杆，丝杆环形侧面安装有螺母块，螺母块下端面装配有电动伸缩杆，电动伸缩杆下端面固定有升降板，升降板上端面中间位置装配有真空泵，真空泵左端面安装有连接管，升降板下端面安装有真空吸盘，真空泵通过连接管与真空吸盘相连接，超声波振子安装在清洗斗内壁，该设计解决了原有单晶硅片不方便超声波清洗的问题，本实用新型结构合理，方便单晶硅片送料清洗，清洗效率高。 |
